पिस्टन प्रकार के वैक्यूम पंप और कम्प्रेसर का उपयोग किया जा रहा है जहाँ तेल मुक्त हवा बहुत जरूरी है। 
पंप का तेल मुक्त चरित्र आमतौर पर कम की गारंटी है पिस्टन वैक्यूम पंप रखरखाव की लागत। पंप अधिकतम 6 एम3/घंटा की क्षमता में उपलब्ध हैं और वे 10 एमबार (ए) के वैक्यूम तक पहुंचने में सक्षम हैं। एक कंप्रेसर के रूप में उपयोग किया जाता है, वे लगभग दबाव तक पहुंचते हैं। 7 बार (जी) अधिकतम।
इन पंपों का उपयोग हल्के औद्योगिक कार्यों, चिकित्सा उद्योग, छपाई और उपकरण उद्योग, प्लास्टिक, खाद्य और पैकेजिंग, इलेक्ट्रॉनिक, रासायनिक पदार्थ और कपड़ा उद्योग के लिए किया जा रहा है।